進(jìn)口氣體稀釋儀主要技術(shù)指標(biāo)：

輸出流量：0-2000、0-5000、0-10000sccm等規(guī)格可選

質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確度：±1％RD（高配 0.6%RD）

質(zhì)量流量控制器重復(fù)精度： ±0.2％

響應(yīng)時(shí)間：≤1 sec

耐壓： 1MPa，3MPa

漏氣率： 1×10-9SCCSHe

通道材料： 316L 不銹鋼或聚四氟乙烯

進(jìn)出氣口連接方式：Φ6不銹鋼穿板卡套或快插接頭

密封材料：氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）

預(yù)熱時(shí)間：＜10min（高配無(wú)需預(yù)熱）

外形尺寸：深430mm×寬240mm×高340mm

配氣稀釋比：可選 1000:1、500:1、200:1、100:1、50:1等規(guī)格可選

儀器重量：8Kg；

工作溫度為 5 ℃～45 ℃； 工作壓差：0.1～0.3MPa 相對(duì)濕度為不大于 85 %；

充電源為交流 220 V±22 V、頻率 50 Hz ±1Hz；

進(jìn)口氣體稀釋儀使用方法：

1 、儀器使用前的準(zhǔn)備和檢查

儀器開(kāi)機(jī)自檢正常后，通過(guò)觸屏選擇可直接進(jìn)入配氣界面。異常情況請(qǐng)參考“常見(jiàn)問(wèn)題與解決"

1.2 氣瓶的檢查

關(guān)閉減壓閥輸出閥，打開(kāi)氣瓶閥門，氣瓶閥門打開(kāi)后，減壓閥高壓壓力表的壓力值會(huì)與氣瓶壓力值一致，一般壓強(qiáng) 1Mpa 以上。如果減壓閥不漏氣，高壓壓力表的壓力值會(huì)一直保持不變，有嚴(yán)重漏氣時(shí)可聽(tīng)到明顯的氣流聲，應(yīng)立即關(guān)閉氣瓶重新連接。

1.3 儀器的管路連接

連接好各路減壓閥和儀器輸入管路，并連接好儀器輸出管路，然后緩緩開(kāi)啟每路減壓閥開(kāi)關(guān)，確保減壓閥減壓輸出的壓強(qiáng)大于 0.05MPa，推薦調(diào)整輸出壓強(qiáng)為 0.1MPa，一般使用壓力小于0.3MPa(通過(guò)低壓壓力表觀察和調(diào)整最后壓強(qiáng)輸出)。

2 、配氣步驟

開(kāi)機(jī)預(yù)熱后，在主界面先選擇各通道輸入氣體類型和標(biāo)氣濃度，之后自動(dòng)生成對(duì)應(yīng)系數(shù)，再設(shè)定稀釋濃度，最后設(shè)定出氣流量，點(diǎn)擊配氣啟動(dòng)，選擇需要的稀釋濃度點(diǎn)即可自動(dòng)工作。如果需要循環(huán)功能，可設(shè)定循環(huán)時(shí)間，點(diǎn)擊循環(huán)開(kāi)啟，再點(diǎn)配氣啟動(dòng)則自動(dòng)按所設(shè)定時(shí)間在各個(gè)稀釋濃度點(diǎn)循環(huán)。

我們提供了氣體系數(shù)預(yù)設(shè)修改界面，用戶可根據(jù)實(shí)際情況對(duì)設(shè)備參數(shù)進(jìn)行校正

流量校準(zhǔn)（該功能用于每年校準(zhǔn)。用戶平常使用無(wú)需設(shè)置）

點(diǎn)擊校準(zhǔn)界面，輸入該路通道所需校準(zhǔn)點(diǎn)的百分比，輸入初始校正系數(shù)1，然后選擇校正點(diǎn)，氣體即通入該路流量控制器，實(shí)際流量顯示流量控制器的氣體流量值，校正流量輸入高精度質(zhì)量流量計(jì)流量值，最后校正值寫(xiě)入，即完成該校正點(diǎn)的校正。在該校正點(diǎn)±50%流量范圍都采取校正后的系數(shù)進(jìn)行修正。

流量曲線點(diǎn)擊流量曲線圖進(jìn)入流量曲線界面如圖8所示，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體流量穩(wěn)定性

3 、清洗

配氣完成后，應(yīng)為儀器或通氣設(shè)備清洗。防止氣體特別是劇毒、毒性強(qiáng)烈及腐蝕性氣體長(zhǎng)時(shí)間殘留在儀器和設(shè)備管路內(nèi)部，造成對(duì)人員人身安全威脅和儀器部件的損壞。推薦配氣結(jié)束后，進(jìn)氣通道 接上 N2 標(biāo)準(zhǔn)氣，調(diào)整 N2 標(biāo)準(zhǔn)氣輸出壓強(qiáng)為 0.2MPa，然后進(jìn)行通氣清洗，沖洗完畢后關(guān)閉進(jìn)氣減壓閥。

注意：配氣儀在停止配氣后請(qǐng)不要立即關(guān)機(jī)，尤其針對(duì)劇毒、毒性強(qiáng)烈和腐蝕性氣體，需要用氮?dú)馇逑春笤訇P(guān)閉。儀器因注意保存在干燥的地方，遠(yuǎn)離熱源，火源。該儀器只能通入潔凈氣體，含有水油或粉塵等顆粒物通入會(huì)損壞傳感器

常見(jiàn)問(wèn)題與解決：

1.配氣儀濃度或流量不足

觀察氣瓶減壓閥的高壓壓力表和減壓后的低壓壓力表，根據(jù)壓力表以確定氣瓶是否有氣或減壓輸出后的壓力過(guò)低

2.輸入錯(cuò)誤

查看輸入的值（所需氣體流量）是否在儀器范圍內(nèi)

3.氣瓶很快就壓力不足

先檢查氣瓶是否有氣，再檢查減壓閥是否漏氣

4.如何檢查儀器氣密性

將鋼瓶氣接上儀器后，緩慢打開(kāi)減壓閥至 0.2MPa，然后關(guān)閉鋼瓶總閥，一段時(shí)間后減壓閥指示壓力無(wú)明顯變化，否則請(qǐng)先檢查管路，排除管路問(wèn)題，則儀器氣密性差，請(qǐng)聯(lián)系廠家。

5觸摸屏異常

觸摸失效時(shí)，按鈕按下沒(méi)有反應(yīng)，請(qǐng)重啟儀器一次，再次還是開(kāi)機(jī)故障，請(qǐng)聯(lián)系廠家

6.配氣過(guò)程中無(wú)氣流流過(guò)

氣源未開(kāi)，氣路不通，請(qǐng)接通氣源，開(kāi)通氣流

7.流量偏差很大使用很長(zhǎng)一段時(shí)間后，零點(diǎn)漂移，檢查方法，任意設(shè)定兩路配氣，流量設(shè)定為 0，不通氣的情況下流量值如果很大，請(qǐng)聯(lián)系廠家

8.濃度、流量顯示值不穩(wěn)

過(guò)減壓閥低壓表檢查氣體輸出壓強(qiáng)是否在工作壓強(qiáng)內(nèi)，一般要求大于 0.1MPa，推薦值：0.2MPa。如果輸出壓強(qiáng)正常，但故障依舊，請(qǐng)檢查管路氣密性，仍然未解決，請(qǐng)聯(lián)系廠家